School of Instrumentation Science and Opto-electronics Engineering, Beihang University, Beijing, China;
high sensitivity; resonant accelerometer; simulation analysis; two-stage microlever;
机译:具有两级微杠杆机制的高灵敏度双轴共振加速度计
机译:微机械硅共振加速度计的结构设计
机译:微机械硅谐振加速度计的设计与实现
机译:具有双级Microlever的高灵敏度微机械谐振仪设计的设计
机译:用于检测和表征生物实体的微机械共振传感器
机译:微机械硅谐振加速度计的设计与实现
机译:微机械硅谐振加速度计的设计与实现
机译:微型,高灵敏度,电子隧道加速度计