ESD防护器件测试系统性能研究

摘要

静电放电(ESD)的测试方法主要为人体模型(HBM)、人体一金属模型(BMM)和机器模型(MM)等，近年来传输线脉冲(TLP)测试方法得到广泛使用。基于TLP测试理论建立了ESD防护器件测试系统，并对测试系统的性能进行了测试研究。测试发现不同脉宽的测试方波对器件的峰值电流、峰值电流时间和箝位时间影响不大，但脉冲结束电流和箝位电压随着脉宽增大而减小，同时较长的传输线会产生较宽的延迟脉宽，对测试结果并未产生影响。