梯度过渡层对非晶含氢碳膜性能的影响

摘要

为提高非晶含氢碳膜在水中的承裁力，用磁控溅射和反应性溅射法在不锈钢表面制备了梯度过渡层，在此基础上进一步用电子辅助化学气相沉积法制备了非晶含氢碳膜，研究了引入梯度过渡层对非晶含氢碳膜的力学性能及其水中摩擦学性能的影响。结果表明，引入梯度过渡层可显著降低薄膜的内部应力，提高非晶含氢碳膜的承载力。