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MEMS压力传感器原理及其应用

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MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域.本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后研究了三种压力传感器的关键技术,并针对应用做了简要分析,最后给出了MEMS压力传感器研究方面的几点建议.

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来源
《2012年全国压力计量测试技术交流年会》|2012年|108-110|共3页
会议地点北京
作者
曹乐; 樊尚春; 邢维巍;
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作者单位

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
MEMS压力传感器; 技术分析; 工程应用;

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