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【2h】

Modeling of a square-shape ZnO, ZnS and AlN membrane for mems capacitive pressure-sensor applications

机译：用于MEMS电容式压力传感器应用的方形ZnO，ZnS和AlN膜的建模

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作者
Ahmad Dagamseh; Qais Al-Bataineh; Zaid Al-Bataineh; Nermeen S. Daoud; Ahmad Alsaad; Ahmad Omari;
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年度 2020
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1. Modeling of a square-shape ZnO, ZnS and AlN membrane for mems capacitive pressure-sensor applications [J] . Ahmad Dagamseh, Qais Al-Bataineh, Zaid Al-Bataineh, International journal for simulation and multidisciplinary design optimization . 2020,第1期

机译：用于MEMS电容式压力传感器应用的方形ZnO，ZnS和AlN膜的建模
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