MEMS压力传感器原理及其应用论述

摘要

MEMS压力传感器在土木工程、电力系统、城市建设、环境监测、航空航天等领域得到了普遍的应用。对此，本文对MEMS压力传感器的基本原理构造及在社会各领域中的应用进行了详细论述。