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微波与光波融合的微电子装备安装技术及工艺研究

摘要

针对未来微电子装备的这一新发展,本文初步探讨了未来微波+光波融合的新一代微电子装备,制造技术(工艺)的发展特点和发展趋势,分析了未来电子制造业即将面临的挑战.

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