重掺磷直拉硅片中缺陷的择优腐蚀

摘要

研究了重掺磷硅单晶中微缺陷的择优腐蚀，指出由一份体积的CrO3水溶液(浓度为0.5mol/L)与一份体积的氢氟酸溶液组成的腐蚀液(Y1液)是一种合适的择优腐蚀液，它能够清晰地显示重掺磷硅单晶的空位型缺陷和间隙型缺陷(如位错和层错)。研究表明，Y1液可以用于快速简易地检测重掺磷硅单晶中的微缺陷。