退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
李洪海; 孔明;
中国电子科技集团公司第四十七研究所;
沈阳110032;
扩散; 三氯氧磷; LPCVD工艺; 多晶硅; 掺磷多晶硅; 腐蚀;
机译:掺磷多晶硅栅上Ti / Si反应的截面透射电子显微镜研究
机译:掺磷多晶硅和SiO2的高温退火过程中磷的扩散
机译:以监控工艺管道腐蚀速率的复杂工程为例,研究炼油厂库存的腐蚀状况
机译:掺磷多晶硅薄膜的光学研究
机译:未掺杂和掺磷的氧化锌的热演化的光谱和结构研究及其对单极和双极器件制造的影响。
机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺
机译:生长过程中掺磷的多晶硅膜的沉积动力学模型
机译:磷和铝吸气 - 研究单晶和多晶硅中的协同效应
机译:使用沟槽嵌入式晶体管-电容器结构的DRAM结构-MOST埋在栅极中,电容器由栅极长度和衬底表面形成,导线由掺磷的多晶硅形成
机译:低浓度下掺有磷的多晶硅膜的形成方法
机译:掺有磷的多晶硅膜的形成
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。