用干涉方法测量薄膜应力

摘要

基于基片弯曲法和牛顿环的基本原理,搭建了一套简便的薄膜应力测量装置,用到的器件有He-Ne激光器,扩束镜,凸透镜和带分光镜的读数显微镜。采用直流溅射法制备了厚度为30nm-144nm的银薄膜,衬底采用厚度为0.15mm直径为18mm的圆形玻璃片。实验发现,薄膜厚度对银薄膜的内应力有显著的影响,在薄膜厚度很小时,随着薄膜厚度的增加,应力迅速增大,达到最大值后,随着厚度的继续增加,薄膜应力下降较快并趋于稳定值。