一种薄膜应力测量仪及其测量方法

摘要

本发明公开了一种薄膜应力测量仪及其测量方法，涉及测量技术领域，测量仪包括框架、测量模组、步进电机、驱动器、晶圆平台和计算机；导轨、测量模组和步进电机置于框架上层，晶圆平台固定于框架下层，步进电机设置在导轨的一端，步进电机连接驱动器用于控制测量模组在导轨上移动，导轨上设有两个限位器，用于限制测量模组的移动距离；测量模组和驱动器分别连接计算机，测量模组通过隔板上的长槽向置于晶圆平台上的晶圆发射激光，并接收反射激光，计算机中设置步进电机的扫描步长用于计算晶圆的曲率半径。该测量仪通过寻找晶圆中心点调节测量模组角度并对数据去边处理，使反射光尽量处于位置传感器的探测中心有利于提高采样精度，保证数据对称。