Alpha粒子能损法精确测量膜厚

摘要

薄膜厚度的精确测量有助于研究薄膜的物理性能。本文利用α射线与材料的相互作用设计测量薄膜厚度的方法。用SRIM软件模拟计算了α粒子在Au膜和核乳胶中的运动,对Au膜厚度、α粒子在核乳胶中的射程实验数据结果分别用Mathematica数值求解和SRIM软件计算,两种方法进行比较。可根据径迹的长短、粗细鉴定粒子的种类和能量。