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α粒子能损法精确测量膜厚

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利用α射线与材料的相互作用设计测量薄膜厚度的方法. 用SRIM软件模拟计算了α粒子在Au膜和核乳胶中的运动,对Au膜厚度、α粒子在核乳胶中的射程实验数据结果分别用Mathematica数值求解和SRIM软件计算. 可根据径迹的长短、粗细鉴定粒子的种类和能量.

著录项

来源
《物理实验》 |2010年第12期|24-27|共4页
作者
车彦明; 陈拓; 陈星;
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作者单位

浙江大学,理学院,物理学系,浙江,杭州,310027;

浙江大学,理学院,物理学系,浙江,杭州,310027;

浙江大学,理学院,物理学系,浙江,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类碰撞与散射;
关键词
α粒子; 膜厚; 核乳胶; SRIM软件;

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