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m面蓝宝石衬底上ZnO外延薄膜的性能研究

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本文采用自行研制的CVD设备在m面蓝宝石衬底上成功生长了微米级的ZnO外延薄膜.采用X射线衍射(XRD)和双晶X射线摇摆曲线(DXRD)研究了所生长ZnO薄膜的结构特征.利用扫描电子显微镜(SEM)观测了ZnO样品的截面,并测得了其厚度.同时利用室温光致发光(PL)谱及霍尔(Hall)测试研究了ZnO外延薄膜的光学性质和电学性质.

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来源
《第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2006年|512-515|共4页
会议地点广西北海
作者
崔军朋; 段垚; 王晓峰; 曾一平;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类化合物半导体;
关键词
m面蓝宝石; ZnO外延薄膜; 微米级; 蓝宝石衬底; X射线衍射;

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