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面向RF IC的片上铁氧体磁膜电感

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本文采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电感的应用.对电感样品进行了测试和等效电路分析,结果表明,与无磁膜结构相对比,铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能,是一种实现小尺寸、高性能片上RF IC电感的很有前景的途径.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1930-1933|共4页
会议地点南京
作者
杨晨; 刘锋; 任天令; 刘理天;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电感器、线圈、扼流圈;
关键词
铁氧体; 薄膜; 电感; 射频; 集成电路;
入库时间 2022-08-17 11:18:59

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