静态累积比较法真空标准漏孔校准方法研究

摘要

静态累积比较法校准真空标准漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空标准漏孔累积过程中离子流变化量而实现校准.本文主要介绍了静态累积比较法真空标准漏孔的校准方法、装置原理、校准过程及校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素.

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