基于银-氧化铟锡混合薄膜的近红外介电常数近零点和等离子体特性调谐的研究

摘要

本文系统地描述了一系列银-氧化铟锡(Ag-ITO)共溅薄膜的制备和研究,通过调控薄膜中银的含量,获得了微观结构上的同质混合薄膜,此时少量掺杂的银的含量(＜3at.％)被证明具有最优值.同时,银的引入显著增强了ITO中In2O3多晶的择优取向,尤其反映在其(222)、(400)、(440)峰的强度提升.