氧化铟锡(ITO)薄膜的透明吸波特性研究

摘要

利用直流磁控溅射技术室温下在柔性聚酯薄膜衬底上制备了ITO薄膜，将ITO薄膜与有机玻璃和空白聚酯薄膜等介质材料组合成复合结构，最终得到吸波能力较强的透明吸波体。该吸波体在Ku带（12～18GHz）范围波段衰减低于-10dB，峰值超过-20dB，且在可见光区透光率达到68％。