铟锡氧化物前驱物浆料制备和ITO薄膜制备方法

摘要

本发明提供一种用铟、锡金属或其无机盐类为原料制备铟锡氧化物前驱物浆料以及通过涂覆技术用此浆料在玻璃片上制备透明和导电性能良好的ITO薄膜的制备技术。其特点是利用无机单强酸或混合强酸分别溶解金属铟、金属锡，或可溶性铟盐和锡盐溶解于水中，将配制的二溶液混合，在强烈搅拌混合溶液条件下加入沉淀剂产生铟锡共沉淀物，用去离子水洗涤杂质离子后，加入分散剂和沉淀剂，得到铟锡氢氧化物或碳酸盐胶体沉淀物，再加入一元低级醇类溶剂和添加剂乙酸、乙醇胺、聚乙二醇型、吐温系列和聚乙烯吡咯烷酮等制备出铟锡氧化物前驱物浆料。通过涂覆和煅烧技术用此浆料在玻璃片制备出表面均匀平整的ITO薄膜。ITO薄膜的厚度在30nm～500nm，在可见光区波长为550nm处的透射率为85％以上，膜方电阻为40-400Ω/□。