MOVPE生长AlN的聚合反应的量子化学研究

摘要

应用量子化学的密度泛函理论,对MOVPE生长AlN的气相反应进行理论计算和分析,特别针对二聚物反应与温度的关系进行研究.通过对Gibbs自由能和反应能垒的计算表明,当641K＜T＜1111K时,有利于二聚物(MMAlNH)2产生.但(MMAlNH)2相继消去CH4生成(AlN)2的反应很难发生,且其很难分解为MMAlNH.因此,气相中会存在(MMAlNH)2,它们可能会作为AlN薄膜生长的主要前体,也可能形成纳米粒子,造成源气体的浪费.