蓝宝石衬底片双面研磨工艺研究

摘要

单晶蓝宝石硬度高(莫氏硬度9),脆性大,是一种典型的极难加工材料,目前主要采用游离磨料双面研磨和单面抛光的方法来获得高精度高表面质量的蓝宝石衬底片,通过双面研磨加工使蓝宝石衬底片获得高精度低损伤表面,然后再通过单面抛光加工进一步获得超光滑表面.因此,双面研磨工艺是获得蓝宝石衬底片高精度低损伤表面的关键工艺.然而,双面研磨工艺的加工参数过多,如研磨液的浓度、粘度、流量、粒径、加工压力、转速、游星轮的运行轨迹等,这些参数对蓝宝石衬底片的表面精度和表面质量均有影响.本文以speedfam双面研磨机为加工平台,通过4inch蓝宝石基片研磨试验,研究了研磨液流量、转速、压力等参数对基片表面粗糙度和加工精度的影响.