首页> 中文会议>中国核学会计算物理分会换届暨学术报告会 >低能电子束曝光中的MonteCarlo方法及沉积能分布

低能电子束曝光中的MonteCarlo方法及沉积能分布

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

建立一个低能电子在多元多层介质中散射ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模拟计算方法。

著录项

来源
《中国核学会计算物理分会换届暨学术报告会》|1997年|499-501|共3页
会议地点北京
作者
谭震宇;
展开▼
作者单位

中国核学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类大规模集成电路、超大规模集成电路;
关键词
低能电子散射;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 低能电子束曝光中的Monte Carlo方法及沉积能分布 [J] . 谭震宇 ,何延才 . 计算物理 . 1997,第4期
2. Monte Carlo方法模拟低能电子束曝光电子散射轨迹 [J] . 任黎明 ,陈宝钦 . 半导体学报：英文版 . 2001,第12期
3. MonteCarlo方法在定积分近似计算中的应用 [J] . 杨少华 . 长春大学学报 . 2012,第002期
4. MonteCarlo方法在重力辅助惯性导航中的应用 [J] . 王德春 ,张杰 ,胡坚 . 导航 . 2008,第001期
5. Montecarlo方法在钻井日费预测与评价中的应用 [J] . 王小秋 ,汪志明 ,李静 . 油气田地面工程 . 2005,第005期
6. 低能电子束曝光中的Monte Carlo方法及沉积能分布 [C] . 谭震宇 ,何延才 . 中国核学会计算物理分会换届暨学术报告会 . 1997
7. 低能电子束曝光的Monte Carlo模拟研究 [A] . 任娃 . 2006

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号