法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20180621
实质审查的生效
2019-03-05
公开
公开
机译: 一种在腔室中通过cvd在半导体晶片上沉积层的方法以及一种在腔室中通过cvd在半导体晶片上沉积层的腔室
机译: 用于改变汽车的腔室即发动机室中的空气流动的空气通过装置,其具有包括控制装置的操作装置,该控制装置用于控制操作磁体装置的可改变的磁场
机译: 在腔室中通过化学气相沉积在半导体晶片上沉积层的方法以及用于执行相同操作的腔室