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Multiscale Computational Fluid Dynamics Modeling of Thermal Atomic Layer Deposition with Application to Chamber Design

机译：热原子层沉积的多尺度计算流体动力学建模及其在腔室设计中的应用

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作者
Zhang, Yichi.;
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作者单位

University of California Los Angeles.;

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授予单位 University of California Los Angeles.;
学科
学位 M.S.
年度 2019
页码 60 p.
总页数 60
原文格式 PDF
正文语种 eng
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