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用于载体在沉积系统中的非接触运输的设备、用于载体的非接触运输的系统、用于在沉积系统中的非接触运输的载体和用于载体在沉积系统中的非接触运输的方法

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摘要

本公开内容提供一种用于载体(220)在沉积系统中的非接触运输的设备。所述设备包括用于在运输方向(1)中移动载体(220)的驱动结构(210)，和在所述驱动结构(210)处的位置检测装置(215)。

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公开/公告号CN109983153A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-05

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201780042940.9
发明设计人克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;蒂莫·艾德勒;
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申请日2017-10-27
分类号C23C14/50(20060101);C23C14/56(20060101);C23C16/458(20060101);H01L21/677(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 13:08:34

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-30

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/50 申请日:20171027

实质审查的生效
2019-07-05

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