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用于沉积系统中的非接触式运输的载体，用于载体的运输的装置，以及用于运输载体的方法

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摘要

本公开提供了一种用于在沉积系统中非接触式运输的载体(200)。所述载体(200)包括沿所述载体(200)的运输方向(1)设置的一个或多个第一磁体单元(210)；以及可检测器件(200)，所述可检测器件(200)具有几何轮廓(220)，所述几何轮廓(220)布置在所述载体(200)的端部部分处并沿着所述运输方向(1)变化。

著录项

公开/公告号CN109983154B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-26

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201780054189.4
发明设计人克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;克莉丝汀·舍巴赫;
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申请日2017-10-27
分类号C23C14/50(20060101);H01L21/677(20060101);C23C14/12(20060101);B65G49/06(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:52:00

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