Ramping热退火直拉重掺锑硅衬底片增强氧沉淀

摘要

该文报道了一种改进该征吸末技术－低温短热退火工艺。以增强该征吸杂效果。在该征吸杂工艺的低温热退火中，用连续的线性缓慢升温（Ｒａｍｐｉｎｇ）退火替代常规的长时间低温恒温退火，应用于直拉（ＣＺ）重掺Ｎ型硅补底片，明显增加了氧沉淀等体微缺陷密度。这些高密度氧沉淀物在随后ＩＣ器件热工艺中继续长大，成为稳定的高效本征吸杂中心。从经典的成核沉淀理论，讨论了Ｒａｍｐｉｎｇ热退火重掺硅初底片增强氧沉淀的机理。