P型<111>硅片多晶吸杂工艺的研究

摘要

该文阐述了ＬＰＣＶＤ生长多晶硅对于Ｐ型〈１１１〉硅片的吸杂作用，通过对多晶硅的微观机构的研究来探讨多晶硅吸杂的吸杂机理。