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沈天慧;
中国电子学会;
硅片;
机译:ZnO薄膜和多孔硅通过VTP工艺共吸杂多晶硅中的杂质
机译:竹粉发酵细粉提高农产品质量并促进堆肥发酵(利用竹粉实现农业第六产业化)
机译:结合使用锯切损伤吸杂剂和发射极形成来提高多晶硅的少数载流子寿命
机译:牺牲高温磷扩散吸杂工艺,用于提高多晶硅晶片的寿命
机译:多晶硅和SiO2薄膜的非Prestonian RRs和残余应力对各种类型的SiO2和Si 3N4薄膜的RRs的影响。
机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺
机译:多孔硅/铝混合吸气剂的多晶硅片中吸杂过程的特性
机译:硅中注入诱导空穴吸杂与siO {sub 2}沉淀相关的内部吸杂之间的竞争
机译:多晶硅片段的纯化包括在氟化氢和氯化氢的水性混合物中对多晶硅片段进行湿化学处理以及随后对多晶硅片段进行热处理
机译:具有SiO 2-多晶硅-SiO 2阻挡层的自对准双阱工艺
机译:多晶硅块式破碎机,多晶硅片段的生产方法和多晶硅片段
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