用扫描热显微镜测量微小区域材质不均匀性的探讨

摘要

随着高新技术的迅速发展，许多研究对象已进入亚微米和纳米范畴。在对这些对象的热性能和热可靠性的研究中，亚微米尺度的植物性测量已成为关键技术之一。例如：在微电子、微电子机械系统（MEMS）领域中，已使用纳米量级厚度的材质和做出纳米尺度线宽的器件。在材料科学、生物学、医学和化学等许多领域，高空间分辨率下的热物性测量也具有重要意义。该文经过实验，初步用扫描热显微判定了微小区域材料热导性质的差别，并从理论上探讨了用该仪器测量微小区域材质不均匀性的方法原理。