スピン偏極走査電子顕微鏡による磁気デバイス解析－電子スピンを検出する微小領域の磁化測定

摘要

スピン偏極走査電子顕微鏡（スピンSEM）は強磁性体試料から放出される二次電子のスピン偏極度を検出する磁区観察装置である．他の磁区観察手法と比較し，10nmを超える空間分解能，磁化方向を空間3成分で解析可能，試料形状への制限の緩さ，などの特長を有し，これまで磁性物理の探究を目的とした基礎分野，あるいは磁気デバイスの発展を目的とした応用分野等，様々な方面で活用されてきた．本稿では，スピンSEMの原理と構造を簡単に紹介した後，いくつかの測定例を示す．