自对准、全离子注入、Poly-Si发射极工艺研究及其在超高速AD、DA中的应用

摘要

该文详细阐述一种自对准、全离子注入、Ｐｏｌｙ－Ｓｉ发射极工艺的研究。该工艺已应用于超高速Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａ转换器的研制中。利用该研究成果成功地开发了转换速率１２５－２５ＭＨ〈，ｚ〉建立时间为１０ｎｓ的超高速８位视频Ｄ／Ａ转换器ＳＤＡ００７。