分子束外延GaAs衬底的化学制备

摘要

分子束外延是制备超晶格等微结构材料的重要手段之一。由于分子束外延不角液相外延或化学气相外延那样，在生长羊可进行原位回熔或腐蚀。因此衬底表面质量的好坏对分子束外延层的质量有极大的影响。