MEMS接触式开关的计算机模拟

摘要

该文给出了用简单的理论模型对高频MEMS接式开关的悬梁变曲和驱动电的关系的分析，并介绍了利用有限元分析软件-ANSYS对其电学、力学及其耦合特性的计算机模拟的过程。