微机械热对流加速度计研究

摘要

微机械热对流加速度计不需检验质量块,结构简单,制作工艺与IC工艺兼容,可批量制备,体积小,量程大,耐冲击.文章介绍了微机械热对流加速度计的工作原理、结构设计,制作工艺和取得的结果.测试表明:所研制的微机械热对流加速度计灵敏度为0.1v/g,分辨率可达1mg,量程>75g,工作带宽50Hz.通过改进设计和进行频率补偿,加速度计带宽可达1KHz.两轴微机械热对流加速度计已经设计出来,目前正在进行工艺制备.