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压力传感器阵列与温度传感器集成系统研究

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本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的制备.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|186-188|共3页
会议地点上海
作者
苏杰; 夏善红; 陈绍凤;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;
关键词
压力传感器阵列; 温度传感器; 优化设计; 集成系统;

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