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重掺杂硅单晶中氧含量的带电粒子活化分析

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本文应用带电粒子活化分析,通过<'16>O(<'3>He,P)<'18>F反应,测量<'18>F的放射性,进行了重掺杂硅单晶中氧含量的测量.

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来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|34-36|共3页
会议地点昆明
作者
刘彩池; 郝秋艳; 王海云; 张雯; 徐岳生;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;TN304.07;
关键词
重掺杂硅; 氧含量; 测定方法; 带电粒子活化法;

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