一种提高重掺锑硅单晶氧含量的生产设备

摘要

本实用新型涉及一种提高重掺锑硅单晶氧含量的生产设备，其生产设备包括用于装料的石英坩埚、用于晶体成型的单晶炉、用于回收熔料时产生热气的温度稳定装置以及用于控制上述三者的控制柜；所述单晶炉外设有用于将温度稳定装置内部的热气向单晶炉内排出的排气装置；本实用新型的有益效果：主要是通过在生产晶体时，将石英环作为添加材料加入至多晶硅料内，从而来达到提高重掺锑硅单晶中的氧含量。