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基于加权残值法的MEMS系统级仿真建模

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摘要

系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节.本文提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型,介绍MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法.由于MWR独特的优点,可以克服目前MEMS建模方法存在的缺点,非常适合MEMS建模,MWR有可能成为MEMS系统级仿真建模的统一理论和方法.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|243-246|共4页
会议地点重庆
作者
孙道恒; 陈永明; 李文望;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计;计算机集成制造;
关键词
MEMS CAD; 系统级仿真; 加权残值法; 微机械电子系统; 硅加工工艺;
入库时间 2022-08-17 10:21:37

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