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基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究

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摘要

介绍一种MEMS系统级模拟方法.该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型.利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性.

著录项

来源
《传感技术学报》 |2008年第4期|607-610|共4页
作者
李蓓佳; 李伟华;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
MEMS设计; 系统级模拟; 薄膜; 受力分析; 等效电路宏模型;

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