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RF MEMS技术的发展及应用研究

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介绍了目前处于国际前沿领域的RF MEMS技术动态.且对加工工艺、加工手段,以及在加工、封装和应用中所面临的技术难点作了详细介绍.重点阐述了RF MEMS研究中的关键技术以及RF MEMS的应用.结合国内外RF MEMS发展提出优化加工工艺,促进产业化进程.表明RF MEMS可用于无线通信、雷达天线和GPS卫星通讯等.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|2-4|共3页
会议地点重庆
作者
王广龙; 周兆英;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
RF MEMS; 加工; 封装; 微机械电子系统; 集成设计; 工艺流程; RF开关;

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