公开/公告号CN104319441A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第五十四研究所;
申请/专利号CN201410619120.X
申请日2014-11-06
分类号H01P1/203;
代理机构河北东尚律师事务所;
代理人王文庆
地址 050081 河北省石家庄市中山西路589号第五十四所微散部
入库时间 2023-12-17 04:31:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-01
授权
授权
2015-02-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01P1/203 申请日:20141106
实质审查的生效
2015-01-28
公开
公开
技术领域
本发明涉及一种频段可切换的带通滤波器,主要应用在多频段调 频通信等,属于RF MEMS(射频微电子机械系统)器件制造领域。
背景技术
基于RF MEMS技术的可调带通滤波器,由于其体积小、可集成性 好、调节方便、比较好选择性,因此RF MEMS滤波器在远距离(卫星 通信)通信及各种信号处理方面具有重要研究价值。近期RF MEMS滤 波器的研究比较多,主要包括数字可调与模拟可调两种,数字可调滤 波器的优点是它对偏置电压不敏感,不用考虑RF MEMS悬臂梁开关“吸 合”效应,但需要大量RF MEMS悬臂梁开关构成开关组用于调节中心 频带,这样会带来滤波器可靠性减低,插入损耗增加。例如 A.Abbaspour等人在IEEE Trans.Microw.TheoryThch.发表关于RF MEMS数字可调滤波器论文,频率范围为6.5GHz-10GHz,其插入损耗 在5.5dB左右,Isak等人于2010年在IEEE Trans. Microw.TheoryThch.发表关于RF MEMS数字可调滤波器论文,频率范 围为12GHz-18GHz,其插入损耗在5dB左右。相比于数字可调滤波器, 模拟可调滤波器中的RF MEMS悬臂梁开关电容更少,器件可靠性更好, 但是对RF MEMS悬臂梁开关的加工工艺要求更高,同时可调范围小。 例如H.T.Kim等人于1999年首次研制出模拟可调范围为4.2%的RF MEMS带通滤波器,之后该学者研究出了模拟可调范围为10%的RF MEMS 带通滤波器,随后A.Abbaspour等人研究出了模拟可调范围为14%的 RF MEMS带通滤波器,但这些滤波器的插入损耗都在3-4.5dB左右。
由于数字/模拟可调带通滤波器带内插入损耗较大、结构设计较 为复杂、带外抑制性不够理想、可靠性不高等,目前难于达到在各种 射频通信设备应用上的要求。
发明内容
为了解决背景技术中存在的问题,本发明设计是基于RF MEMS 技术频段可切换开关带通滤波器,可以满足不同频段选频的要求。所 设计的可切换带通滤波器实现了结构简单、设计方便、插入损耗小、 带外抑制性好等特点。
为了解决上述技术问题,本发明是通过以下技术方案实现的: 基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器,包括输入短截线28、 输出短截线29和带通滤波器,其特征在于:还包括输入RF MEMS悬 臂梁开关、输出RF MEMS悬臂梁开关、加载直流偏置电压的电感和偏 置电压触块,输入短截线28的输出端口通过输入RF MEMS悬臂梁开 关与带通滤波器的输入端相连接,带通滤波器的输出端通过输出RF MEMS悬臂梁开关与输出短截线29的输入端口相连接;
所述的输入RF MEMS悬臂梁开关和输出RF MEMS悬臂梁开关的 结构相同均包括开关梁20、绝缘层21、加载直流电压的金属层22、 通过射频信号的金属层23和衬底24,输入RF MEMS悬臂梁开关和输 出RF MEMS悬臂梁开关的加载直流电压的金属层22均与两个加载直 流偏置电压的电感的一端一一对应相连,两个加载直流偏置电压的电 感的另一端均与两个偏置电压触块一一对应相连,输入短截线28的 输出端口与输入RF MEMS悬臂梁开关的开关梁20相连接,输入RF MEMS 悬臂梁开关的通过射频信号的金属层23与带通滤波器的输入端相连 接,带通滤波器的输出端与输出RF MEMS悬臂梁开关的通过射频信号 的金属层23相连接,输出RF MEMS悬臂梁开关的开关梁20与输出短 截线29的输入端口相连接。
其中,所述的基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器为 多路滤波器结构,每一路基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波 器都由一个输入RF MEMS悬臂梁开关、一个输出RF MEMS悬臂梁开关 和一个带通滤波器构成;每一路基于RF MEMS技术频段可切换开关带 通滤波器的器件连接方式相同。
本发明相比背景技术具有如下优点:
a)可集成化,若采用PIN或FET开关设计,则难于实现开关滤 波器整体封装,难于集成;
b)开关高隔离度,采用RF MEMS开关在C-X波段可以实现30dB 以上的隔离度;
c)结构简单、可靠性高,相对于数字\模拟可调RF MEMS滤波 器,无需考虑开关电容比,设计结构简单,RF MEMS开关切换滤波器 使用开关数量少,可靠性更高等特点。
附图说明
图1是基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器的结构示 意图;
图2是图1所示1的放大图;
图3是半波长缺陷环谐振单元的结构示意图;
图4是RF MEMS悬臂梁开关剖面的结构示意图;
图5是基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器的射频响 应图。
具体实施方式
下面结合附图1-5和实施例对本发明的具体实施方式作进一步 详细的说明。
以两路滤波通道为例,在中心频率为7180MHz和8350MHz两个频 段,对应带宽分别为600M和400M,基于RF MEMS技术的开关可切换 带通滤波器由2个带通滤波器、4个RF MEMS悬臂梁开关、4个加载 直流偏置电压的电感、4个偏置电压触块和2个输入\出短截线组成。
其中带通滤波器由半波长缺陷环谐振单元2或半波长缺陷环谐 振单元3和微带传输线段组成,半波长缺陷环谐振单元2或半波长缺 陷环谐振单元3可以等效为一个电容和电感的串联电路,连接的微带 短截线等效为阻抗变换器;半波长缺陷环谐振单元2是中心频率为 7180MHz的谐振结构单元,半波长缺陷环谐振单元3是中心频率为 8350MHz的谐振结构单元,半波长缺陷环谐振单元2和半波长缺陷环 谐振单元3的结构特征是一样的,设计方法一致,由相应中心频率半 波长微带线设计而成。所有的半波长缺陷环谐振单元位于滤波器结构 的一侧,半波长缺陷环谐振单元2或半波长缺陷环谐振单元3的数量 用于调节滤波器矩形系数和带外抑制度,半波长缺陷环谐振单元之间 的距离用于调整滤波器回波损耗。结构16、结构17和结构18用于 调节耦合度、滤波器带宽,其尺寸与带宽均成反比例关系,半波长缺 陷谐振环19用于调节滤波器中心频率,其尺寸增大,滤波器中心频 率减小,尺寸减小,中心频率增大;微带线段长短用于调节滤波器的 回波损耗。实施例中带通滤波器由6个半波长缺陷环谐振单元按一定 间距位于传输线段一侧排开而成。
RF MEMS悬臂梁开关利用直流电压驱动,电压加载在输入\出短 截线和偏置电压触块之间,RF MEMS悬臂梁开关中加载直流电压的金 属层22与加载直流偏置电压的电感的一端相连接,RF MEMS悬臂梁 开关的开关梁20与输入\出短截线连接。当加载电压时,由于电场力 作用,开关梁20被下拉,使得开关梁20与通过射频信号的金属层 23接触,电路导通;当直流驱动电压减小或者去除时,由于开关梁 20本身的弹性力(回复力)作用,开关梁20回复原位,电路断开。 绝缘层21防止开关梁20与加载直流电压的金属层22直接接触。加 载直流偏置电压的电感等效为电感,起扼流作用,用于防止射频信号 从加载直流偏置电压的电感出去,该结构设计根据信号频率不同而改 变,频率越大,则电感结构尺寸越大,即圈数更多。
RF MEMS悬臂梁开关7、RF MEMS悬臂梁开关8、RF MEMS悬臂梁 开关9和RF MEMS悬臂梁开关10用来选择滤波通道,RF MEMS悬臂 梁开关7和RF MEMS悬臂梁开关9控制半波长缺陷环谐振单元3构成 滤波通路;RF MEMS悬臂梁开关8和RF MEMS悬臂梁开关10控制半 波长缺陷环谐振单元2构成滤波通路。具体为:当RF MEMS悬臂梁开 关7和RF MEMS悬臂梁开关9导通,RF MEMS悬臂梁开关8和RF MEMS 悬臂梁开关10断开时,相应的射频信号通过半波长缺陷环谐振单元 3构成的带通滤波器;当RF MEMS悬臂梁开关8和RF MEMS悬臂梁开 关10导通,RF MEMS悬臂梁开关7和RF MEMS悬臂梁开关9断开时, 相应的射频信号通过半波长缺陷环谐振单元2构成的带通滤波器,实 现了单模块开关可切换滤波器结构。
为了避免趋附效应,通过射频信号的金属层23厚度设定为1.5 微米,RF MEMS悬臂梁开关悬臂梁20厚度为1微米,绝缘层21厚度 为0.15微米。加载直流偏置电压的电感11和偏置电压触块13的材 料为CrSi,为了减小损耗,金属材料采用电阻率小的金属,如铝、 铜、金等,衬底24采用损耗小的材料,如高阻硅,石英玻璃等。
RF MEMS悬臂梁开关结构形状对射频信号和隔离度会产生重要影 响,具体表现为:
a)由于RF MEMS悬臂梁开关尺寸大会影响到开关的稳定性和可靠 性,当RF MEMS悬臂梁开关宽度15过小则会导致阻抗失配,最终导 致滤波器射频响应中的回波损耗不够,影响滤波器性能;
b)RF MEMS悬臂梁开关与信号接触区域,如果面积过大会导致信 号隔离不够,面积过小会导致接触电阻过大,导致插入损耗大;
因此选择合理的RF MEMS悬臂梁开关尺寸和接触区域面积对提升 滤波器性能具有重要意义,同时不同的需求对应不同的结构。
该基于RF MEMS技术频段可切换开关带通滤波器的结构在这里选 择一种尺寸组合进行实施例说明,(下面数据单位为微米):
当图1结构的尺寸为:
结构4=24260,结构5=6300,结构6=320;
当图2结构的尺寸为:
结构14=70,结构15=50;
当图3结构的尺寸为:
半波长缺陷环谐振单元3中的尺寸18=300,半波长缺陷环谐振 单元2中的尺寸18=1400;
当图4结构的尺寸为:
结构25=1.5,结构26=1.5,结构27=1.5;
衬底24(高阻硅)厚度为420,加载直流电压的金属层厚度22 为1.4。
此时滤波器的仿真图为:
图5中显示的是该滤波器的射频响应,黑色曲线为RF MEMS悬臂 梁开关7和RF MEMS悬臂梁开关9接上、RF MEMS悬臂梁开关8和RF MEMS悬臂梁开关10断开时的射频响应,中心频率为7180MHz,带宽 为600M,带内插入损耗为2.2dB左右,回波损耗在17-22dB左右,该 滤波器具有非常好的带外抑制性;灰色曲线为RF MEMS悬臂梁开关8 和RF MEMS悬臂梁开关10接上、RF MEMS悬臂梁开关7和RF MEMS 悬臂梁开关9断开时的射频响应,中心频率为8350MHz,带宽为400M, 带内插入损耗为2.3dB左右,回波损耗在17-22dB左右,该滤波器具有 非常好的带外抑制性;
可见,通过RF MEMS悬臂梁开关的切换,可以改变不同的滤波器 通道。
上述仅为一个例子,若想得到不同频点通道,可以根据具体实施 方式调整不同参数,如可以调整半波长缺陷环谐振单元长度来得到不 同通带。若需要多个滤波通道,则可以在目前2个通道基础上,外加 需要的滤波器通道,每个滤波器通道都由2个RF MEMS悬臂梁开关和 一组半波长缺陷环谐振单元构成。
机译: 带有转换开关的无线电通信系统-在上下频段之间具有切换前置放大器和带通滤波器
机译: 基于快速RF功率开关的脉冲到脉冲可切换多能量线性稳压器
机译: 基于快速RF功率开关的脉冲到脉冲可切换多能量线性稳压器