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振梁式真空度传感器

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对真空度的测量可采用各种真空计,但其输出量大多为非电量或模拟式电量.本文设计了一种电热激励/压敏全桥检测Si/SiO<,2>双层微悬臂梁谐振式真空度传感器.该传感器利用微悬臂梁的谐振频率随真空度的变化而变化实现测量的,其敏感元件是用微电子工艺和微机械加工工艺制作的微悬臂梁,是一种新型的真空度传感器.

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来源
《第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议》|2001年|143-146|共4页
会议地点西安
作者
韩建强; 朱长纯; 刘君华; 魏培永;
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作者单位

中国电子学会;

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电真空测试技术与设备;
关键词
微悬臂梁; 真空度传感器; 真空度测量; 微电子工艺;
入库时间 2022-08-17 10:21:27

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