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面向21世纪的微电子测试技术

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微电子技术问世以来,最大的进步在于集成电路的发展.微电子设计、工艺过程控制以及新工艺方法的发展和完善均依赖于对重要参数的测量.随工艺尺寸减少和对工艺纯度需求的不断增加,准确的物理测量和电测量面临很多困难,计量技术正在寻求新的突破.

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来源
《2001年电子测量新技术报告会》|2001年|15-19|共5页
会议地点北京
作者
时万春;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试和检验;电气测量技术及仪器;
关键词
微电子测试技术; 集成电路; 微处理器;

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