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离子注入工艺中热靶的研究

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介绍热靶的研制和解决热靶产生的热电子及感应电流对注入样品剂量的影响问题.

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来源
《第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|2001年|123-123|共1页
会议地点成都
作者
徐嘉东; 杨占坤; 李建明;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类掺杂;
关键词
离子注入; 热靶; 晶格质量; 注入损伤; 工艺技术;

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