机译:扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。
公开/公告号JP2021523549A
专利类型
公开/公告日2021-09-02
原文格式PDF
申请/专利号JP20210514264
申请日2019-04-15
分类号H05H1;H05H1/46;
国家 JP
入库时间 2022-08-24 22:24:10