WC/DLC/WS2纳米复合薄膜的制备与微观结构分析

摘要

本文通过两步法制备WC/类金刚石(DLC)/WS2纳米复合薄膜,即先通过离子束辅助沉积(IBAD)制备掺钨类金刚石(W-DLC)薄膜,然后再对其进行低温离子渗硫处理.采用扫描电子显微镜(SEM)和三维白光形貌仪观察了薄膜的表面形貌,采用拉曼光谱仪(Raman)测试了薄膜C-C结构变化,并采用附带能谱分析仪(EDS)的透射电子显微镜(TEM)分析了薄膜的精细微观结构.研究结果表明W-DLC薄膜经低温离子渗硫处理后ID/IG从3.4 升高到3.8,WC/DLC/WS2纳米复合薄膜微观结构中包含纳米晶β-WC1-X和WS2均匀分布于非晶DLC基体.