离子注渗工艺参数对9310钢表面WC-DLC薄膜性能影响

摘要

为提高9310钢表面WC-DLC薄膜结合力与摩擦磨损性能,分别探究了不同注渗时间和注渗电压工艺参数对9310钢表面硬度、WC-DLC涂层结合力以及摩擦性能的影响.研究结果显示:当注渗电压从10kV升高到20kV时,9310钢表面硬度从7.34GPa增加到8.36GPa,膜基结合力从39.9N增加到49.3N,薄膜表面摩擦系数从0.161下降到0.119,薄膜摩擦学测试磨损深度从2.39μm下降到2.03μm;注入时间从1h增加到3h时,9310铜表面硬度从7.06GPa增加到8.84GPa,膜基结合力从34.1N增加到49.9N,薄膜表面摩擦系数从0.161下降到0.118,薄膜摩擦学测试磨痕深度从2.48μm下降到1.99μm.研究表明,9310钢表面离子注渗对WC-DLC涂层结合力与力学性能有一定的改善,结合力增加,摩擦学性能优化.