利用熔盐反应法在AIN陶瓷表面制备Ti金属化薄膜

摘要

利用熔盐反应法,成功地在AIN陶瓷表面制备了Ti金属化薄膜.研究了金属化处理时间、温度和反应物(氟钛酸钾)初始浓度对薄膜显微结构的影响.结果表明,随着时间的增加,温度的升高,反应物(氟钛酸钾)浓度的增大,薄膜中的Na<,2>Ti<,3>Cl<,8>相减少,TiN相增加.对其原因做了简单分析,还对薄膜的形成过程进行了讨论.