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铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究

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本文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散的作用.此外,还发现奇怪的位错明衬度缺陷,分析了其产生原因.

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来源
《中国第七届光伏会议》|2002年|268-272|共5页
会议地点杭州
作者
陈君; 杨德仁; 阙端麟; M.Kittler;
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作者单位

中国太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;TM914.41;
关键词
铸造多晶硅; 铝; 电子束诱生电流; 太阳能电池; 扩散吸杂;

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